微观装置的制造及其处理技术
  • 基于金属-硫属元素化物纳米管的机电谐振器的制作方法
    本发明涉及基于金属-硫属元素化物纳米管的机电谐振器。1992年首次报道的无机纳米管(INT)作为卷制型式的非碳2D材料和作为纳米技术的潜在结构单元(buildingblock),越来越引起兴趣。长期以来,碳纳米管(CNT)由于它们出色的机械和电特性,以及它们独特的机电耦合,一直被认为是纳...
  • 具有微机电系统(“MEMS”)振荡器时钟的地震传感器系统的制作方法
    本申请要求2017年3月3日提交的具有序列号62/466,473的美国临时申请的权益,所述临时申请的全部内容以引用方式整体并入本文。本申请涉及地震勘测系统和硬件,并且更特别地涉及其中使用的时钟系统和使用(微机电系统)MEMS振荡器作为正时参考的时钟系统。这个部分提供背景信息,以促进...
  • 一种高效抗菌协同防细菌黏附纳米材料的制备方法及其应用与流程
    本发明属于纳米材料制备,具体涉及一种高效抗菌协同防细菌黏附纳米材料的制备方法及其应用。人类生活环境中存在大量细菌微生物,细菌微生物繁殖的危害是食品工业、临床医学、生物医用材料、生化工程、海洋船舶防腐防污、工业和饮用水安全等研究和应用领域中涉及的一个具有共性的、基础性和普遍性的重大问...
  • 一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法与流程
    本发明属于纳米孔加工,具体涉及一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法。随着纳米科学技术的发展,纳米孔单分子技术已成为生命科学领域应用研究最强有力的工具之一。固态纳米孔因其性能稳定,孔径可控等优点被诸多研究者应用于DNA测序,RNA测序和蛋白结构测试的实验中,其制备材料多以二...
  • 脉冲发光二极管烧结的制作方法
    本公开涉及用于具有金属纳米粒子的导电油墨组合物的光子烧结的系统和方法。具体地说,本公开涉及使用包括脉冲发光二极管(lightemittingdiode;LED)阵列的照明源来烧结具有金属纳米粒子的油墨组合物的方法和系统。印刷电路板通常通过使用提取方法(例如蚀刻)的光刻术来制造。这种制造方法通过...
  • 微通道芯片的制造方法与流程
    本发明涉及一种微通道芯片的制造方法,特别涉及一种树脂制的微通道芯片的制造方法。近年来,利用精细加工技术而形成了微米级的微小通道、反应容器的芯片(微通道芯片)被用于DNA检査、活体物质分析、药物研发·制药开发、有机合成、水质分析等各种领域。此外,作为微通道芯片,能够以低成本制造的树脂制的微通...
  • 一种用于制造三层结构干电极的转印方法与流程
    本发明属于微纳器件制造与生物医学领域,涉及一种用于制造三层结构干电极的转印方法。电生理信号检测,如心电图、肌电图、脑电图等,对于健康监控和疾病诊断具有重大意义。检测电生理信号最常用的是带有导电凝胶的Ag/AgCl电极,也称为湿电极。导电凝胶可以使湿电极与皮肤紧密接触,降低接触阻抗。但是,导...
  • 一维锐钛矿相TiO2纳米锥阵列的制备方法及应用与流程
    本发明涉及太阳能电池,具体涉及一种一维锐钛矿相TiO2纳米锥阵列的制备方法及应用。在新型光伏领域中,钙钛矿太阳电池自2009年被发现以来,其效率已经由3.8%提升至24.2%,是光伏界中的一匹黑马。作为钙钛矿太阳电池的重要组成部分,电子传输材料的主要作用是传输钙钛矿吸光层产生的光生...
  • 制造半导体裸片的方法、半导体裸片、封装件以及电子系统与流程
    本公开涉及用于制造包括过滤模块的半导体裸片的方法、包括过滤模块的半导体裸片、容纳该半导体裸片的封装件以及容纳该封装件的电子系统。以已知方式,MEMS(微电子机械系统)类型的声换能器(具体是麦克风)包括:膜敏感结构,被设计为将声压波(声波)转换成电量(例如,电容变化);以及读取电子设备,被设...
  • 一种微结构及具有该微结构的柔性表层结构的制作方法
    本发明涉及柔性表层结构设计领域,更具体地,涉及一种微结构及具有该微结构的柔性表层结构。自然界中动植物表面天然存在的微型复合结构已经引起了科学家们广泛的关注。通过向自然界的学习,使我们了解到高级结构,即微型复合结构,对材料性能的影响,促使我们加深对材料表面加工作用的理解。柔性材料由于具有很多...
  • 基于超亲水层的复合微纳结构传感器的制备方法及产品与流程
    本发明属于传感器,更具体地,涉及一种基于超亲水层的复合微纳结构传感器的制备方法及产品。传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器的性能主要取决于敏感材...
  • 锂硫电池用硒掺杂的共价有机骨架-硫正极复合材料及其合成方法与流程
    本发明属于电池制造,具体涉及锂硫电池用硒掺杂的共价有机骨架-硫正极复合材料及其合成方法。由于化石燃料的日益枯竭以及燃烧所带来日益严重的环境问题成为困扰人类社会可持续发展的两大难题。开发新型清洁能源已经迫在眉睫,其中电化学储能体系特别是锂离子电池体系被人们寄予厚望。二次锂离子电池未来...
  • 一种碳纳米管聚合物复合膜的制备方法及应用与流程
    本发明属于电子设备,特别涉及一种碳纳米管聚合物复合膜的制备方法及其应用。柔性传感器、微电子学以及人造皮肤越来越引起研究人员的关注。可拉伸电阻式应变传感材料已经得到了广泛的开发,并用于可穿戴设备。电阻式应变传感器面临的问题是实现大的应变并在应变条件下有良好的线性度。传统的电阻式金属应...
  • 一种合成复合液滴对填充的水凝胶微纤维的集成微流控芯片与应用的制作方法
    本发明涉及微流控,具体涉及一种合成复合液滴对填充的水凝胶微纤维的集成微流控芯片与应用。用于多种功能性物质的共封装和可控释放的微载体在药物输送、组织再生以及酶催化反应等方面具有独特的优势以及广泛的应用前景。多腔室微载体的各个腔室被壳体材料分隔而相互独立,不仅有利于多种物质的共封装同时...
  • 本发明涉及半导体光电,具体涉及一种磷化铟和硅晶片键合方法。随着信息产业的爆炸式发展,全球互联网流量急剧增长,导致信息通信和高性能计算等领域面临着成本、宽带、集成度等方面的挑战,而基于硅基光子学的光互连技术被广泛认为是应对这些挑战的有效解决方案,在硅基光子学中,由于受限于硅材料间接带...
  • 一种基于共形键合工艺的软式曲面微流控器件制造方法与流程
    本发明属于微纳制造领域,更具体地,涉及一种基于共形键合工艺的软式曲面微流控器件制造方法,该方法可制备出曲面柔软的微流控器件,有望用于生命医学中的健康诊断领域,特别是以隐形眼镜为主的眼科健康诊断领域。近年来穿戴式微流体技术正处于飞速研究发展阶段,目前的穿戴式微流体器件都是平面工艺加工出来,具...
  • 一种微孔过滤膜与半导体气敏膜叠层器件及其制造方法与流程
    本发明属于气敏传感器制造,更具体地,涉及一种微孔过滤膜与半导体气敏膜叠层器件及其制造方法。半导体气敏膜(主要由SnO2、WO3、In2O3等金属氧化物体系组成)被广泛应用于气体传感器中,在空气污染分布式检测、有毒有害气体检测、智能家居终端气体检测领域的应用已趋成熟,在气体检测的选择...
  • 芯片原子气室胶键合系统及胶键合工艺制备方法与流程
    本申请涉及本申请涉及原子气室领域,特别是涉及一种芯片原子气室胶键合系统及胶键合工艺制备方法。集成电路工艺以及电子器件的小型化和多功能集成推动了微机电系统技术的发展。微机电系统采用先进的半导体工艺和技术,将机械、电子甚至系统集成在一块芯片中,在航空航天、信息通信、生物医疗等领域有着巨大的应用...
  • 微流体单元及其制造方法与流程
    本发明总体上涉及微流体单元(Mikrofluidikzelle),例如应用在分析学中的不同目的微流体单元。本发明具体地涉及由玻璃制成的微流体单元。在“芯片实验室”系统的意义上的微流体单元是一种用于生物化学分析或医学分析的工具,其变得越来越普遍并且被越来越多地应用。通过使添加的物质与引入到微...
  • 具有微结构的器件及其制作方法与流程
    本申请涉及材料领域,具体而言,涉及一种具有微结构的器件及其制作方法。现有技术中,通常采用刻蚀法制作微结构,该方法使用的溶剂等材料对环境不友好,且难以控制刻蚀精度。发明内容本申请的主要目的在于提供一种具有微结构的器件及其制作方法,以解决现有技术中的微结构的制作需要刻蚀的问题。为了实现上述目的...
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